被现代化教育体系培养出来的精英,仪器的使用者和仪器的制造者,是两种完全不同领域的🔦🂸人。
正是这种跨专业,跨领域,仪器制造厂对使用者的需求和困扰,并不是那么敏感和理解。这也是ve,甚至cvd早就诞生,但只有到了今🇦🚴天🍅🅮,才被中村改造😳🅞。
光⚥📡🜜刻机的厂家,肯定很烦芯片设计人员跑过来指手画脚,告诉他们如何设计仪器。
在科仪,如果不是他们走⛘🚪🖌投无路,会甘心情愿的听成永兴瞎指挥?
把石英改成金属?你那不是疯了吧!
这一关,中村靠的是天赋,成永兴靠的是外挂和金手指。
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过了第一关,就是第二关。
这个第二关,也跟设备结构有关系。
这就是被后世沿用三十年之久的“tan材料的生长温度比传统半导体要高很多,一般🖿😔在1000度以上。
在高温下,衬底表面的气体会自发向上扩🔚散,造成☽🄹🂢外延表面的氮分压不够,ga🚐n容易分解。
中⚥📡🜜村发明了一种双束流反应室结构,即一路为水平气流携带化学反应的前驱物进入反应室,另外一🗧🝽🐨🗧🝽🐨路为垂直的气流从反应室自上而下进入。
说穿了,就是两股气流,一个是侧吹,一个是从上往下吹。这股自上而下的气流,起到了压制ga🗧🝽🐨n分解的作用。
这个工艺方法的出现,完全是中🐕⛘🚯村拍脑🐳袋的结果,没有任何解释。
中村没有走任何弯路,一步到位,直接就🔚是正确的方式。
这种运气和巧合,令全世界的科研👢工作者,都很🁬🈶🂴无☽🄹🂢语!