怎么了?”
产品的良率不足,也跟🟀🙿现在tft的加工工序次数过🇲🜠🃦多有关系🚗📡🜘。”
tft的加工工艺,与晶圆没有原理上的本质区别。每一次🐀☖光🚗📡🜘刻,成膜,清🕱🍘洗,涂光阻胶,曝光,显影,烘干,蚀刻,去光阻胶,检查,都要走一遍。
目前的tft加工🔺工艺,采用的是七次光刻🃏🖶的工艺。也就是基板需要通过七次光刻,才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中,几十次的光刻,是最少的了。这也是🖃🏼🟙为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多,总成品率就越低。
小成,如果你有好的技术,就🁌🄛♴赶紧😓🁀🂪拿出来吧。”🙝
白学成也在一边加入了战团,进行劝说。
好吧。”
成永兴犹豫了一下,🅭但还是妥协了。这个技术,他是准备保留到下一代的。在历史上🖣🔜🁠,五步光刻法,要过几年才会出现。⛅
会议很快就转向了其它议题。
例如国产原料的送检等。但这些💼不影响👌🙰主要进度。
有,不错,没有,也不怎么值得大家关心。
从全彩员工的角度看,这些🜑🁠都是供应商👌🙰,用谁的不是用?用国产原料,反而是🞉💐给大家添麻烦。
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会后,白学成和成永兴,王🜑🁠青山三个🗤🝦🍗人到小会议室闲坐。
随着产线的全线调通,大家的🁌🄛♴心情,也就慢慢放松了下来。